浅谈扩散工艺在半导体生产中的应用
扩散工艺是半导体生产整个工艺流程中使比较普遍的,而又极其关键的一个环节.本文在对扩散定义以及在半导体工艺流程中扩散工艺的作用原理的基础上,并结合传统的扩散工艺存在的自行运转能力低的现状.
半导体工艺、工艺流程、作用原理
TN305(半导体技术)
2017-05-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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半导体工艺、工艺流程、作用原理
TN305(半导体技术)
2017-05-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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