浅析扩散工艺在半导体生产中的应用

摘要：

最近几年以来，随着我国计算机技术的发展，半导体技术越来越受到大家的重视。而制作半导体的关键技术就是制作其PN结。PN结的制作方法有多种多样，其中最为常见的便是扩散工艺。本文将主要介绍扩散的定义、在半导体产品的生产过程，扩散工艺起作用的机理和其具体的应用范围。同时，本文将从扩散工艺的整个工艺的流程，它在PN结形成过程中起到的作用以及该工艺的发展三个方面，探究扩散工艺在整个半导体生产流程中的应用。

关键词：半导体、扩散工艺、PN结

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2016-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：234-234