面向晶圆划刻的兆声辅助激光加工实验研究

摘要：

针对晶圆划刻中激光加工易产生重铸层且得到的沟槽深宽比小等问题,提出了兆声辅助激光加工方法,对激光烧蚀与兆声振动理论进行分析,并利用响应面分析法对加工参数进行优化.结果表明,兆声波能够将烧蚀产生的液相材料和熔融碎屑击出烧蚀区,从而减小重铸层面积,改善晶圆的表面形貌;附加兆声辅助后,沟槽划刻后晶圆表面重铸层面积减小约 25%,烧蚀深宽比由2.65 增加到 3.82.基于上述研究,在晶圆表面划刻得到了形貌良好的网格结构,证明此方法能有效改善晶圆划刻的表面形貌,减少重铸层的产生,提高晶圆划刻的效率与精度.

关键词：激光加工、兆声振动、响应面分析、晶圆划刻

分类号：TG665

资助基金：国家重点研发计划;河北省自然科学基金

在线出版日期：2024-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：50-54,60