10.3969/j.issn.1009-279X.2023.05.005
基于流体动压效应的扫描阴极掩膜电解加工试验
针对目前掩膜电解加工深度溶解能力受限问题,以微凹坑阵列为研究对象,提出了基于流体动压效应的扫描阴极掩膜电解加工新方法.利用高流速电解液冲刷微凹坑表面堆积的电解产物,提高深度溶解能力,并且借助扫描阴极射流产生的流体动压效应使掩膜与工件表面动态贴合,从而简化工艺装置设计.基于加工试验,探讨了不同平底阴极结构和加工参数耦合作用对微凹坑尺寸变化的影响,最终实现直径259.8μm、深度44.1μm和直径418.1μm、深度102.7μm微凹坑阵列的加工,论证了扫描阴极掩膜电解加工方法具有提高深度溶解的能力.
掩膜电解加工、微凹坑阵列、平底阴极、流体动压效应
TG662
江苏省自然科学基金;江苏省自然科学基金
2023-11-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共7页
34-39,53