三维微细电解加工微型腔侧壁缺陷的形成机理与改进机制

摘要：

针对三维微细电解加工较大深度的微型腔时侧壁存在大量微孔缺陷的问题,采用一种三维叠层微电极振动辅助电解加工三维微型腔的方法,分别利用纯NaNO3电解液和含有均匀悬浮B4C粉末的NaNO3电解液进行微细电解加工实验,制备深度大于800μm、具有复杂孤岛结构的三维微型腔,并聚焦研究三维微型腔侧壁缺陷的形成机理与改进机制.结果表明,在NaNO3电解液中添加B4C粉末后,可避免微细电解加工产生微盲孔与微孔条纹,侧壁质量得到明显提升.

关键词：三维微细电解加工、振动辅助、气膜、微盲孔

分类号：TG662

资助基金：国家自然科学基金资助项目51575360

在线出版日期：2020-11-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：27-30,35