状态方程实验用铈微靶的聚焦离子束制备

摘要：

由于Ce材料易氧化、易变形,传统的研磨制靶方法已无法获得高精度的Ce材料状态方程靶.针对高活性材料高精微靶制备的难点,引入了聚焦离子束技术进行Al-Ce阻抗匹配靶的制备.在10-4 Pa的高真空下通过Ce靶片的离子束切割、机械手转移、扫描电镜定位、Pt沉积固定、氧化防护Pt膜等,完成了高精度Al-Ce阻抗匹配靶的制备.采用该方法制备的Ce靶,具有氧化程度低、陡直度高、精密程度高、安全性好、成品率高和操作直观等优势.最后通过动态加载状态方程实验证实了聚焦离子束制备高精度微靶的可靠性.

关键词：状态方程、聚焦离子束、阻抗匹配靶

分类号：TG669

在线出版日期：2020-09-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：71-74