超微阳极扫描式电沉积加工的厚度均匀性实验研究

摘要：

为解决多尺度共存掩膜电沉积件的厚度不均问题,提出了直线状超微阳极扫描式电沉积加工技术,研究分析了共基底批量电沉积微构件和宏-微组合构件时的厚度均匀性及其影响因素,并与传统电沉积技术进行对比.结果表明:厚度均匀性受工作间隙和电沉积特征区结构尺寸影响较大,工作间隙越小、结构尺寸越小,电铸件的厚度均匀性越好,而几乎不受移动速度和极间电压的影响.相比常规掩膜电沉积技术,超微阳极扫描式掩膜电沉积可获得厚度均匀性更佳的电沉积制件.

关键词：扫描式电沉积、超微阳极、尺度效应、厚度均匀性

分类号：TG662

资助基金：国家自然科学基金资助项目;河南省高等学校重点科研项目计划

在线出版日期：2020-09-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：47-52