基于激光束全反射的激光与电解复合小孔加工技术研究

摘要：

针对高表面质量精密深小孔加工需求,提出了激光与管电极电解复合加工技术(Laser-STEM),利用管电极内激光束全光导效应将激光能量高效传导至加工区域,综合采用激光-材料相互作用、电化学刻蚀及其耦合效应对材料高效去除,实现大深度小孔加工.基于Laser-STEM的加工机理,综合采用几何光学理论计算、光学仿真和试验验证的方法对激光与管电极耦合机制进行了研究,得到了激光功率和加工电压对材料去除速率与加工精度的关系,并利用Laser-STEM技术实现了深度5 mm、直径1.2 mm的小孔高效加工.

关键词：激光与电解复合加工、全反射、激光损耗、加工效率、侧面间隙

分类号：TG665

资助基金：国家自然科学基金资助项目;浙江省自然科学基金资助项目;宁波市自然科学基金资助项目

在线出版日期：2020-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：49-54