248nm准分子激光旋转加工锥形孔试验

摘要：

采用准分子激光对PMMA板进行加工,通过旋转台完成打孔,并探究多项参数对于微孔深度与锥度的影响.研究发现:在一定范围内,当脉动频率和单脉冲能量增加时,微孔的深度线性增加、锥度线性减小;旋转速度对于微孔的深度和锥度无太大影响;采用较大的三角形掩模加工微孔的锥度最佳.通过选择合适的掩模与参数,加工出的微孔比冲孔法效果更佳.

关键词：激光加工、准分子激光、微孔制造、旋转法

分类号：TG665

资助基金：北京市教委科研计划资助项目KZ201910005009

在线出版日期：2020-06-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：57-60