电场诱导压印模具的套刻制备及其实验

摘要：

电场诱导压印技术的关键在于能实现压印光刻胶的正向复形,对电场诱导模具的制备提出了较大的挑战.提出一种基于光刻、刻蚀和SU-8胶套刻的方法,实现了电场诱导压印模具的制备,通过Comsol仿真分析了电场分布,设计了支架高度与模具微结构高度,展示了几种不同形状、尺寸的模具结构,并对结构进行了表征.基于电场诱导模具搭建了试验平台,并在导电模具和基材之间施加电场,通过SEM观察成形结果得到,该结果与预计的电场诱导压印复制结构相似,验证了电场诱导套刻模具的适用性.

关键词：电场诱导、压印模具、紫外光刻、套刻、等离子体刻蚀

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目;山西省青年科技研究基金资助项目

在线出版日期：2020-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：70-74