微流控芯片注塑模具的微细电解加工

摘要：

基于电解加工电极不损耗的优势,研究了一种微细电解加工微流控芯片注塑模具微结构的工艺,针对微小V型槽和微孔,解决微细电极在线制备和测量、微结构成形精度、群微结构加工等关键问题.加工实验结果表明:该工艺可实现曲线V型槽和群微结构加工,通过微细电解加工的模具具有较高的形状精度和表面质量.

关键词：微流控芯片、注塑模具、微细电解加工、V型槽、微孔

分类号：TG662

资助基金：国家自然科学基金资助项目;天津市自然科学基金重点项目

在线出版日期：2020-03-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：33-36,60