基于硝酸钠乙二醇溶液的铝微缝结构电解切割试验

摘要：

铝由于其低密度和良好的导电导热性而被广泛应用于各个领域,其中具有群缝结构的铝微器件在微机电领域有着重要的应用前景,但铝箔的微细加工较困难.针对铝微缝结构的加工,提出一种基于硝酸钠乙二醇溶液的电解切割方法,分析了铝在不同溶剂的硝酸钠溶液中极化曲线的基础上,对电压、频率、占空比三个参数进行了试验研究,最终在铝箔表面加工出了总长2 mm、平均缝宽275.25μm、缝宽标准差6.53μm的"L"形微缝结构,微缝形貌良好且表面无杂散腐蚀.

关键词：铝箔、微细加工、电解加工、微缝结构

分类号：TG662

资助基金：国家自然科学基金资助项目51675274

在线出版日期：2019-11-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：24-27,54