基于两种热源模型的激光刻蚀数值仿真

摘要：

激光刻蚀碳化硅的影响因子较多,仅依靠试验方法研究激光刻蚀过程难以充分和有效了解其过程,数值仿真模拟己成为研究激光刻蚀的一种有力手段.基于ABAQUS有限元软件的数学模型和数值方法,利用FORTRAN编写的用户子程序,模拟了不同激光热源下碳化硅激光刻蚀过程中温度场和刻蚀深度的变化.结果表明:不同的热源模型对刻蚀区域的最高温度及热影响区的温度分布有一定影响,综合比较发现选择双椭球热源模型优于高斯面热源模型.

关键词：激光刻蚀、热源模型、刻蚀温度场、刻蚀深度

分类号：TG665

资助基金：安徽省高校自然科学重点项目KJ2015A013;安徽省高校优秀青年人才支持计划重点项目gxyqZD2016153

在线出版日期：2019-01-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：40-43