大型工件激光喷丸三维扫描光路系统光斑畸变分析与校正方法研究

摘要：

激光喷丸工艺系统一般具有固定光路和动态扫描光路两种形式.针对大型工件的激光喷丸处理,动态扫描光路的形式更具优势.在基于振镜系统的动态扫描光路的扫描过程中,激光倾斜于工件入射,将产生超出工艺误差控制要求的光斑形状畸变,影响系统的加工精度.建立了该系统导光光路的数学模型,分析了光斑形状畸变的严重程度,提出了校正思路,设计了两向异焦动态聚焦模块用以校正.仿真计算结果表明:光斑形状畸变基本被消除,校正系统有效可行.

关键词：振镜、动态聚焦、光斑畸变校正

分类号：TG665

资助基金：装备预研教育部联合基金资助项目6141A02033105;国家重点研发计划2016YFB1102705;上海市青年科技启明星计划项目16QA1402000

在线出版日期：2018-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：45-47,64