基于静电驱动的微细电解加工技术

摘要：

利用电容两极板间的静电力可促使两极板相互靠近的特点,提出了基于静电驱动的微细电解加工技术,并设计了静电驱动微细电解加工装置.分析了电解液浓度和电源频率对加工间隙的影响,并进行了二维结构、阵列柱状结构的静电驱动电解加工实验.结果表明:采用静电驱动技术实现电极的微进给,能使加工间隙达到微细电解加工的要求;通过控制电源的脉宽和频率,能实现自适应电解加工的目的.

关键词：静电驱动、电解加工、弱电解质、平面电极

分类号：TG662

资助基金：国家自然科学基金资助项目51475107;深圳市基础研究计划项目JCYJ20140417172620449

在线出版日期：2017-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：37-40