Ni-SiC复合电铸层内应力实验研究

摘要：

提出通过掺杂SiC颗粒来减小Ni微电铸层内应力的新方法,基于UV-LIGA工艺制作了纯镍电铸层和Ni-SiC复合电铸层,采用X射线衍射法测量微电铸层的内应力,分析SiC颗粒对微电铸层内应力的影响效果.利用L9(34)正交试验考查了铸液中SiC浓度、电流密度、搅拌转速及电铸温度等工艺参数对复合电铸层内应力的影响.结果表明:掺杂SiC颗粒能有效减小微电铸层内应力,电流密度和铸液中SiC浓度对内应力的影响大于搅拌转速和电铸温度.复合电铸层内应力实验的最优工艺参数为:SiC浓度20 g/L,电流密度1 A/dm2,磁力搅拌转速600 r/min,电铸温度50℃.

关键词：电铸层内应力、SiC颗粒、复合电铸、正交试验

分类号：TG662

资助基金：国家自然科学基金资助项目51375077,51475245;大连理工大学创新团队项目DUT16TD20

在线出版日期：2017-09-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：38-42