基于放电概率检测的硅晶体电火花线切割加工伺服控制研究

摘要：

针对往复走丝电火花线切割加工硅晶体时,无法准确判别其极间加工状态、伺服进给速度不能实时响应加工状态变化的问题,提出了一种基于放电概率检测的采样方法,设计并搭建了硅晶体电火花线切割加工伺服控制系统.通过工艺验证证明该伺服控制系统能显著提高硅晶体电火花线切割加工的表面质量、效率及形状精度.

关键词：硅晶体、电火花线切割加工、放电概率检测、伺服控制

分类号：TG661

资助基金：国家自然科学基金资助项目51575271

在线出版日期：2017-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：25-30