金刚石线锯电解磨削切割多晶硅片的试验研究

摘要：

基于金刚石线锯切割系统，开展了金刚线电解磨削切割多晶硅片试验。结果表明：电解磨削复合加工方法在机械磨削的同时复合了阳极氧化和腐蚀，在硅片表面产生了机械损伤缺陷和电化学腐蚀缺陷。酸制绒时腐蚀反应在两种类型缺陷处顺利进行，形成均匀致密的绒面结构，有效降低硅片表面反射率，有利于后续电池片光电转换效率的提高。

关键词：金刚石线锯、电解、磨削、多晶硅片、制绒

分类号：TG662

资助基金：国家自然科学基金资助项目51175259

在线出版日期：2017-02-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：41-43,48