193 nm和248 nm波长准分子激光对玻璃及聚合物刻蚀特性的比较

摘要：

将波长为193 nm的ArF准分子激光和波长为248 nm的KrF准分子激光经光学系统分别垂直照射到不同材料的表面，通过改变激光脉冲数目，在大气背景下进行实验，用三维轮廓仪对照射后的样品表面形貌及表面粗糙度进行测试分析。研究了准分子激光与非金属材料相互作用的机理，并对比得到了193、248 nm激光对聚合物材料PMMA （聚甲基丙烯酸甲酯）及HF4光学玻璃的刻蚀特性。结果表明：在激光能量密度为1.5 J/cm2时，波长193 nm激光比波长248 nm激光在刻蚀PMMA时能得到更好的效果，而在刻蚀HF4光学玻璃时却恰好相反。在准分子激光与非金属材料相互作用的过程中，既不是光源的波长越短，刻蚀效果越好，也不是光与物质相互作用中的光化学机理所占的比重越大，刻蚀效果越好；最终刻蚀效果的好坏取决于很多因素。

关键词：193nm、248nm、准分子激光、PMMA、HF4光学玻璃

分类号：TG665

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项子项目2011YQ030112

在线出版日期：2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：30-34