10.3969/j.issn.1009-279X.2016.04.009
193 nm和248 nm波长准分子激光对玻璃及聚合物刻蚀特性的比较
将波长为193 nm的ArF准分子激光和波长为248 nm的KrF准分子激光经光学系统分别垂直照射到不同材料的表面,通过改变激光脉冲数目,在大气背景下进行实验,用三维轮廓仪对照射后的样品表面形貌及表面粗糙度进行测试分析。研究了准分子激光与非金属材料相互作用的机理,并对比得到了193、248 nm激光对聚合物材料PMMA (聚甲基丙烯酸甲酯)及HF4光学玻璃的刻蚀特性。结果表明:在激光能量密度为1.5 J/cm2时,波长193 nm激光比波长248 nm激光在刻蚀PMMA时能得到更好的效果,而在刻蚀HF4光学玻璃时却恰好相反。在准分子激光与非金属材料相互作用的过程中,既不是光源的波长越短,刻蚀效果越好,也不是光与物质相互作用中的光化学机理所占的比重越大,刻蚀效果越好;最终刻蚀效果的好坏取决于很多因素。
193nm、248nm、准分子激光、PMMA、HF4光学玻璃
TG665
国家重大科学仪器设备开发专项子项目2011YQ030112
2016-10-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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