点杂多晶太阳能硅片电解磨削多线切割试验研究

摘要：

提出了一种电解磨削多线切割点杂多晶太阳能硅片的新方法。电源的正极接硅锭，负极接切割线网，电解过程中硅锭发生微区钝化反应，形成硬度较小的钝化膜，使点杂多晶太阳能硅片更易切割。试验结果表明：该技术具有切割效率高、切片合格率高等优点。进一步检测发现，硅片宏观表面线痕浅、隐裂少，微观表面平整性好。该技术的应用降低了硅片加工的成本，提高了硅材料的利用率，也为太阳能电池的运用拓宽了空间。

关键词：电解磨削、多线切割、点杂多晶、太阳能硅片

分类号：TG580.66(金属切削加工及机床)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51175259

在线出版日期：2016-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：35-39