高厚度均匀性电铸装置的研制

摘要：

大面积电铸件（层）厚度及其均匀性的有效控制是电铸工艺的难题和关注重点。在分析导致厚度分布不均的核心影响因素的基础上，提出了协同解决方案，设计开发了阴极周向移动机构和随动式阴极屏蔽板等关键部件，进而研制出一种可获得高厚度均匀性沉积层的电铸装置。

关键词：厚度均匀性、电铸层、阴极周向移动机构、阴极屏蔽板

分类号：TG662

资助基金：国家自然科学基金资助项目51175152

在线出版日期：2015-09-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：59-61