基于SU8厚胶制备折叠波导的工艺研究

摘要：

随着太赫兹（THz）技术的发展，真空电子器件越来越小型化，作为核心部件的折叠波导由于具有独特的优点，在高频结构中必将得到广泛的应用。开展了基于SU8厚胶，采用嵌丝式UV-LIGA工艺制备折叠波导（FWG）互作用结构的工艺实验，主要包括无氧铜基体的制备、SU8厚胶的匀胶、烘胶、光刻、后烘、显影等工艺参数的摸索。

关键词：SU8、UV-LIGA、折叠波导

分类号：TN124(真空电子技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51071147

在线出版日期：2014-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：45-46,49