光纤引导皮秒激光Al2O3陶瓷精细刻线研究

摘要：

作为一项基础研究，提出了一种在陶瓷表面加工凹槽的新方法，利用光纤引导激光在陶瓷表面实现加工，并基于有限元分析法，对光通过光纤的电场强度进行了模拟，从实验和模拟两方面证明了光纤对激光具有光强增强效果，及其对光束的引导作用，能达到材料表面微结构的加工效果。与未用光纤引导激光加工的陶瓷表面做对比，光纤对光强的增强效应使得在具有高熔点、高硬脆物理特性的陶瓷表面产生刻蚀成为可能，小于聚焦光束直径(50μm)的增强区域尺寸保证了加工精度的提高。

关键词：皮秒激光、光纤、陶瓷、精细刻线

分类号：TG485(焊接、金属切割及金属粘接)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51275011；新世纪优秀人才支持计划资助项目NCET-10-0007；北京市自然科学基金重点项目3111002；北京市教育委员会科技计划重点项目

在线出版日期：2014-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：51-54