微细电极的正交点电接触在线测量及组合制作工艺

摘要：

为服务于微细电火花加工用微细工具电极在线制作，提出一种正交点电接触标准细棒的微细电极在线测量方法。将电极轴线与标准细棒轴线正交(垂直)布置，通过电极外径与标准细棒外径之间低压电感知的点接触方式，避免或减少标准棒尺寸误差和安装误差的影响。提出采用自穿孔成形伺服反拷法和线电极磨削法组合工艺，并结合在线测量反馈方式，实现了钨材料微细电极较高效率的在线制作，尺寸可控精度可达依1.5μm。

关键词：微细电火花加工、工具电极制作、电接触在线测量、组合工艺

分类号：TG661

资助基金：国家自然科学基金资助项目50905094；摩擦学国家重点实验室自主研究课题SKLT11C5；精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室开放课题PMEC201202

在线出版日期：2014-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：20-23