10.3969/j.issn.1009-279X.2011.z1.010
UV-LIGA技术制备微细金结构试验研究
利用基于SU-8光刻胶的UV-LIGA技术加工微细金结构.针对所沉积的微结构出现凹形的现象,建立了加工过程的电场数学模型,利用有限元方法对这种现象进行仿真研究,发现当光刻胶厚度大于微结构厚度时,可以明显改善这种情况.另外,试验还研究了阴阳极距离、电流密度对沉积层表面平整度的影响.优化参数组合,最终制备出厚度0.2 mm的微细金结构.
UV-LIGA、仿真、表面平整度
TG146.3+1(金属学与热处理)
2011-07-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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