紫外激光划切蓝宝石晶圆的试验研究

摘要：

用355 mm紫外激光进行了蓝宝石晶圆的划切试验,通过改变激光的脉冲重复频率、入射能量密度和扫描速度,得到了多组微槽.对微槽的划切质量、深度和宽度进行检测和分析.结果表明,紫外激光划切蓝宝石晶圆能获得良好的微槽结构;不同的入射激光能量密度、脉冲重复频率和扫描速度对微槽的深度和宽度有不同的影响;晶圆表面粗糙度对微槽的划切质量影响很大.

关键词：紫外激光、蓝宝石晶圆、微槽

分类号：TG485(焊接、金属切割及金属粘接)

在线出版日期：2009-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：35-38,43