综合改善微细电解加工精度的工艺研究

摘要：

电解加工的阳极电化学溶解原理使其在微细加工领域具有巨大的发展潜力,但杂散腐蚀和流场条件恶劣制约加工精度的提高.分析了影响微细电解加工的主要因素,提出综合改善微细电解加工精度的工艺途径.理论分析和实验研究均表明:将LIGA工艺制备高质量微细阵列电极、电极侧壁绝缘、高频脉冲电流及非线性电解液加工、电极间歇回退伺服控制等方法有机结合,能有效约束电场、改善流场,提高微细电解加工的精度.

关键词：微细电解加工、加工精度、电场约束、间歇回退

分类号：TG662

资助基金：国家高技术研究发展计划资助项目2006AA04Z317

在线出版日期：2009-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：24-29,60