微细电解加工用电极的侧壁绝缘及应用实验

摘要：

介绍了一种微细电解加工用电极的侧壁绝缘方法及其应用实验.采用旋涂法在电极表面涂敷液态环氧树脂并固化处理,重复该过程形成多层绝缘薄膜,用机械磨削法去除电极端部的绝缘膜,使电极端面导电.通过基础工艺实验优化了旋涂法工艺参数,通过对比实验验证了侧壁绝缘电极的微孔加工效果.旋涂法可制得膜厚为5～10 μm的侧壁绝缘电极,采用该电极加工可显著减小微孔直径及锥度,提高微细电解加工尺寸精度.

关键词：微细电解加工、微细电极、侧壁绝缘、微细孔

分类号：TG662

资助基金：国家高技术研究发展计划资助项目2006AA04Z317

在线出版日期：2009-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：28-31,39