太阳能硅片切割技术的研究

摘要：

简述了太阳能硅片常用的切割方法及特点,指出电火花线切割由于其适合大厚度、超薄切割等特点,将成为太阳能硅片切割的一个研究热点.但因半导体特殊的电特性,目前常规电火花线切割工艺还不能胜任太阳能硅的切割.研究了太阳能硅材料的放电加工模型,提出了电火花线切割太阳能硅片的思路和工艺方法,并采用改进的脉冲电源首次对电阻率为2.1 Ω*cm的P型太阳能硅进行了切割试验,切割效率大于100 mm2/min.

关键词：硅、太阳能、电火花、线切割

分类号：TG661

在线出版日期：2009-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：61-64,68