三维微细电火花加工精密运动系统的设计研究

摘要：

提出一种新的、可用于多种微细加工的、低速、多自由度并具有纳米精度的三维极微细电火花加工系统.初步构建出极微细电火花加工机电系统功能模块,实现极微细电火花三维加工过程的监测与控制;优化加工系统的控制和基本的工艺参数设置;达到纳米级电火花加工的关键技术途径.

关键词：微细电火花加工、超精密、平台、微结构

分类号：TG661

在线出版日期：2009-03-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：61-64