金属薄板微小群孔掩膜电解加工技术研究

摘要：

介绍了掩膜电解加工微小群孔的技术,深入研究了掩膜厚度、加工电压、电解液种类等参数对微小群孔加工效果的影响.通过对这些参数的优化,提高了微小群孔结构的均匀性和微孔的加工精度.

关键词：微小群孔、掩膜、电解加工

分类号：TG662

资助基金：国家863高技术研究发展计划资助项目2006AA04Z321;江苏省自然科学基金资助项目BK2007530

在线出版日期：2008-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：37-39,63