飞秒激光在材料微加工中的应用

摘要：

飞秒激光脉冲以超高速和超高峰值特性将其能量全部、准确地集中在限定的作用区域,可对所有材料实现"冷"加工.由于在加工的过程中不产生冲击波,汽化物质也不把热量传给相邻的物质,因此避免了加工过程中热损伤的产生,得到了较高加工质量.和传统长脉冲激光加工相比,它有着加工材料广泛性、精确性高、能耗低等无法比拟的独特优势,在材料的微细加工等高技术领域有着广泛的应用前景.

关键词：飞秒激光、微加工、应用

分类号：X50;U66

资助基金：江苏大学校科研和教改项目

在线出版日期：2005-03-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：4-6