10.3969/j.issn.1009-279X.2004.06.007
光刻胶掩膜微细电化学加工参数的试验研究
对光刻胶掩膜微细电化学加工参数进行了试验分析研究,发现光刻胶厚度、开口角度、脉冲电源频率、脉宽及电解液配方对加工质量都有影响,在此基础上提出改善加工质量的可行性方案.
光刻胶、微细加工、电化学加工
TN3;X76
2005-01-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
17-19
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10.3969/j.issn.1009-279X.2004.06.007
光刻胶、微细加工、电化学加工
TN3;X76
2005-01-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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