10.3969/j.issn.1009-279X.2003.05.014
单晶硅材料电火花加工试验研究
针对单晶硅材料的特点,研究单晶硅的电火花加工工艺对促进电火花加工技术在微机电系统中的应用有重要的意义.对单晶硅材料进行电火花加工工艺试验研究的结果表明,在一定的条件下,电火花加工工艺可成为单晶硅材料的一种较有效的加工方法.
电火花加工、单晶硅、电阻率、表面粗糙度
TG5(金属切削加工及机床)
2003-12-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
46-48
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10.3969/j.issn.1009-279X.2003.05.014
电火花加工、单晶硅、电阻率、表面粗糙度
TG5(金属切削加工及机床)
2003-12-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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