面向MEMS的微细加工技术

摘要：

MEMS技术将是21世纪科技与产业的制高点之一,而微细加工技术又是MEMS发展的重要基础.微细加工技术在传统光刻工艺的基础上,又发展了灰调光刻、Lift-Off、LIGA及准LIGA、激光和分子装配等适应三维结构的新技术.本文综述了目前国内外各种微细加工及其关键技术的研究状况,并介绍了微细加工技术和MEMS的发展趋势.

关键词：微机械、MEMS、微细加工技术

分类号：TG5(金属切削加工及机床)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-6