离子束去除加工原理探讨

摘要：

从离子束溅射的微观力效应出发，介绍了离子束去除加工的原理，分析了影响加工效率的因素，并对加工装置的结构及工作原理进行了探讨。

关键词：离子束、溅射、去除加工

分类号：TH(机械、仪表工业)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：26-28