图形反转双层光刻胶金属剥离技术

摘要：

金属剥离技术是用于空间用太阳电池电极的工艺技术.为了实现真空蒸镀直接剥离7μm金属层的目的,开发了图形反转双层光刻胶金属剥离技术.采用图形反转胶和正型光刻胶,实现了理想的光刻胶剖面图形,检测表明金属厚度达到7 μ m.此技术已经用于高效太阳电池的批量生产中.空间环模条件考核表明此工艺制作的电极满足空间环境的要求.

关键词：太阳电池、光刻、图形反转、双层光刻胶、剥离

所属期刊栏目：29

分类号：TM914.4

在线出版日期：2005-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：140-141