微系统技术发展现状及趋势

摘要：

微系统将信息的获取、处理、分析及执行融为一体,整合了传统电子信息系统的各个子系统,具有尺寸小、功能丰富且完整、可靠性高、功耗低以及成本低等特点,在军事、工业及农业等领域有巨大的应用价值和前景.基于此,系统性地阐述微系统的概念,总结微系统技术的发展现状及其趋势,并梳理微系统技术的应用领域和方向.

关键词：微电子信息系统;MEMS;集成技术

所属期刊栏目：45

分类号：TN409(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2021-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：21-29