基于柔性衬底的声表面波磁传感器的频率响应影响因素研究

摘要：

针对声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)器件在柔性磁传感应用中的不足,提出一种基于ZnO/FeGa/PI多层膜结构的柔性SAW磁传感器.利用有限元软件COMSOL对器件进行建模和仿真,并采用散射矩阵法对建模的可靠性进行了验证.通过观察中心频率的变化,分析了电极材料、电极厚度、压电层厚度以及磁致伸缩层厚度对器件性能的影响,研究了器件在不同外应力作用下的传感特性.结果表明,施加在传感器上的应力会影响传感器的响应曲线,在特定范围内,传感器的谐振频率与外磁场强度近似成线性关系,且能获得较高灵敏度.

关键词：声表面波、柔性电子、磁传感器、有限元仿真

所属期刊栏目：44

分类号：TP212.13(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金;中央高校基本科研业务费专项基金

在线出版日期：2021-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：53-59