硅微传声器的电声测试与灵敏度分析

摘要：

根据所研制的电容式硅微传声器理想模式下的工作原理,建立了分析声-电模型,从理论上分析了器件的机械性能、灵敏度以及频响特性,并对不同结构参数的电容式硅微传声器进行性能测试,得出了系统设计的原则,要想得到高灵敏度的微传声器器件,在满足工艺可实现性的条件下,必须考虑尽可能小的空气隙厚度,以及具有较小内应力的声学振膜.

关键词：硅微传声器、模型、工艺、振膜

分类号：TN643(电子元件、组件)

在线出版日期：2004-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：19-21