扩散连接制备微流道化学机械系统研究

摘要：

在采用扩散连接的方法制备具有微型流道结构的化学机械系统时,流道部分因焊接压力无法直接传递,往往形成未焊合造成泄漏.采用一个简单的线性弹性模型对不同宽度和厚度的流道处的接触压力进行了有限元模拟,并结合流道处的金相照片对其连接状态进行分析.结果表明:要实现层板间的有效连接,层板间各处的接触压力应不小于1 MPa；流道所允许的宽度是有限的,并且随着流道厚度的增加而增加.

关键词：微化学机械系统(MCMS)、扩散连接、微通道

所属期刊栏目：42

分类号：TG453.9(焊接、金属切割及金属粘接)

资助基金：西北工业大学凝固国家重点实验室资助项目43-QP-2009,31-TP-2009

在线出版日期：2012-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：22-24