一种可实现增益、带宽独立调控的低噪声MEMS加速度计接口电路设计

摘要：

为了进一步满足振梁式加速度计(VBA)对前端放大接口电路增益、带宽以及噪声的更高要求,提出了一种适用于硅微振梁式加速度计的可实现增益、带宽独立调控的低噪声前端放大接口电路.该设计基于T型接口电路的两级拓扑结构,有效解决了增益、带宽和噪声之间的制约问题.通过仿真与实验结果表明,该设计在等效跨阻增益为40MΩ的前提下,最终实现了带宽为410kHz、相位误差为1.2°、等效输入电流噪声密度为8.9fA/√Hz.基于该设计的实验样机在上电稳定后1h零偏不稳定性达1.156μg,相较于传统一级跨阻接口电路减小了 49.2％(2.274μg),验证了该新型接口电路的可行性和优越性.

关键词：前端放大接口电路、噪声、带宽、硅微振梁式加速度计

所属期刊栏目：10

分类号：U666.1(船舶工程)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金;江苏省自然科学基金

在线出版日期：2023-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：133-140