微玻璃半球壳体谐振子的设计、制备与表征

摘要：

近年来美国国防高级研究计划局大力推进三维壳体谐振陀螺(尤其是高性能半球谐振陀螺)的微型化,以实现惯导级性能的微机械振动陀螺.提出发泡法制备直径小于1cm的微壳体谐振子,利用发泡剂在高温下释放气体,使软化后的玻璃在气压差和表面张力的作用下形成三维轴对称壳体.大气环境下多普勒测振仪的测试结果表明,利用发泡法制备的微壳体谐振子的酒杯二阶模态的谐振频率为11kHz,频率分裂值为72Hz,相对裂解值为0.65％,相应的品质因子Q值约为970和1127.发泡法有望提供一种低成本、高性能微壳体谐振子的制备方法.

关键词：壳体谐振陀螺、半球谐振陀螺、半球谐振子、发泡法、微壳体谐振子

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分类号：V241.3(航空仪表、航空设备、飞行控制与导航)

资助基金：国家自然科学基金51675102,51275091

在线出版日期：2017-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：79-85