石英摆片激光切割技术研究

摘要：

针对激光切割技术在典型石英结构——加速度计摆片加工成形中的应用,探讨了激光与石英材料的作用机理,进行了激光切割成形以及消应力试验.在此基础上详细分析了激光切割工艺参数和后处理对石英摆片成形质量的影响,对精密石英结构的制造具有普遍的意义.

关键词：石英摆片、激光切割、加速度计

所属期刊栏目：2

分类号：TG485(焊接、金属切割及金属粘接)

在线出版日期：2015-06-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：102-107