利用超硬膜进行材料保护

摘要：

利用多弧离子镀技术、采用Ti-Al-Zr合金靶材在高速钢基片上沉积（Ti,Al,Zr）N超硬反应膜。系统地研究了沉积工艺（偏压、镀膜温度、反应气体压强、弧电流）对膜层组织和性能的影响。
根据正交试验法对沉积工艺参数进行设计，制定了合适的实验工艺。根据实验工艺制备了表面比较光洁、平整，组织比较均匀、细致的薄膜。
该研究工作表明，采用多弧离子镀技术沉积的（Ti,Al,Zr）N超硬反应膜在较薄的厚度（≤3μm）下，通过沉积工艺优化，可以达到很高的硬度（HV＞3500）、很强的附着力（＞140N）以及良好的常温和高温耐磨性能，达到刀具膜层的高使用性能要求。此外，本课题研究结果也表明，采用Ti-Al-Zr合金靶材制备的（Ti,Al,Zr）N超硬反应膜是可行的，具有良好的工业应用前景。

关键词：(Ti、Al、Zr)、N、超硬反应膜、多弧离子镀、偏压

分类号：TQ153.2

在线出版日期：2012-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：129-129