氧气流量对磁控溅射制备AZO薄膜特性的影响

摘要：

利用直流磁控溅射方法在BK-7基片上制备掺铝氧化锌（AZO）透明导电薄膜。研究氧气流量对薄膜电学和光学性质的影响，分析结构和光电学性质改变的机理。X射线衍射的结果发现，氧气浓度为0．5％时制备的薄膜的衍射峰最强．且出现了新的（102）和（110）衍射峰。实验结果表明，随着氧气流量的增加，电阻率（p）先减小后增大，在氧气浓度为0．5％时获得最低电阻1．5×10^-3。所有样品在可见光区的平均光学透过率都在85％左右．在氧气浓度增到1．5％时可见光区的平均透射率达87％。

关键词：AZO、薄膜、磁控溅射、光电学性质

分类号：O484.4(固体物理学)

在线出版日期：2012-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：67-69