电致伸缩微位移执行器特性的改善

摘要：

通过微机校正方法消除了电致伸缩微位移器的非线性,并采用数字PID方法改善了它的动态特性.研制出一套实用控制系统,实现了电致伸缩微位移执行器性能的改善.并将其用于精密微动平台,以实现精密微量进给.

关键词：电致伸缩微位移器、微动平台、非线性、动态特性

分类号：TM5(电器)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：17-19