多自由度短行程超精密平面电机技术发展综述

摘要：

多自由度短行程超精密平面电机具有高精度、高速度、高频响等优点,在半导体光刻加工、超精密测量、生物芯片技术等现代精密、超精密加工装备领域具有广阔的应用前景,近年来受到学术界的广泛关注.本文介绍了多自由度短行程超精密平面电机的研究现状,对近年来国内外用于实现超精密定位的主流结构进行了综述,总结了目前超精密平面电机的主要研究内容与关键技术,并讨论了其未来的发展趋势.

关键词：平面电机、超精密定位、多自由度、短行程、重力补偿器

所属期刊栏目：28

分类号：TM35(电机)

资助基金：国家科技重大专项2009ZX02207-001;教育部新世纪优秀人才支持计划NCET-08-0158

在线出版日期：2014-03-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：1-11