溅射法在YBCO高温超导带材制备中的应用

摘要：

高温超导电缆的开发正成为全球的研究热点。钇钡铜氧（YBCO）高温超导涂层导体作为高温超导电缆的载流层材料，各国正对其进行长带化研究。作为典型的真空沉积技术，溅射法在制备YBCO缓冲层材料中发挥了巨大的作用。本文介绍了溅射法的分类，重点介绍了射频溅射、磁控溅射和离子束辅助沉积技术。随着薄膜材料研究的深入，溅射法必将在包括超导在内的材料领域发挥更大的作用。

关键词：超导电缆、YBCO带材、溅射、离子束辅助沉积

分类号：TM26+2(电工材料)

在线出版日期：2015-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：39-42