10.3969/j.issn.1671-8887.2015.03.010
高性能氧化物陶瓷靶材的压力注浆成型工艺及应用
氧化物陶瓷靶材是一种关键性的基材镀膜材料,其结构向高密度、大尺寸、管状、异型、均匀方向发展,这些结构特点对材料成型技术提出了更高的要求。本文对氧化物陶瓷靶材的多种产业化成型工艺进行综合评述,结合在压力注浆成型工艺上取得的进展,重点对高压注浆成型工艺的技术特点、应用优势进行了介绍,并展望了其应用前景。
陶瓷靶材、成型、压力注浆
TN304.2+1(半导体技术)
2015-07-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
34-38,42