高性能氧化物陶瓷靶材的压力注浆成型工艺及应用

摘要：

氧化物陶瓷靶材是一种关键性的基材镀膜材料，其结构向高密度、大尺寸、管状、异型、均匀方向发展，这些结构特点对材料成型技术提出了更高的要求。本文对氧化物陶瓷靶材的多种产业化成型工艺进行综合评述，结合在压力注浆成型工艺上取得的进展，重点对高压注浆成型工艺的技术特点、应用优势进行了介绍，并展望了其应用前景。

关键词：陶瓷靶材、成型、压力注浆

分类号：TN304.2+1(半导体技术)

在线出版日期：2015-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：34-38,42